產(chǎn)品詳情
Product details
產(chǎn)品用途:主要用于半導(dǎo)體、太陽能電池生產(chǎn)中的PECVD、等離子體清洗等設(shè)備。可用于間歇式脈沖放電工作模式。
技術(shù)特點:
儲能低,不超過1MJ/KW;
功率密度大;
負(fù)載范圍寬,分七檔負(fù)載匹配調(diào)節(jié),負(fù)載適應(yīng)
范圍寬;
正弦波輸出,諧波?。?br/>優(yōu)異的水冷式設(shè)計;
間歇式脈沖功率輸出;
具有過壓、過流、開路及短路等完善監(jiān)控措施
與保護功能;
優(yōu)良的電流、電壓打弧控制能力;
成膜質(zhì)量好;
實現(xiàn)功率、電流及電壓等控制方式。
電氣規(guī)格:
電壓頻率:45-65HZ;
輸出頻率:40KHZ,±0.01%;
電源效率:0.85全功率輸出;
功率因素;0.90全功率輸出;
輸出功率:10KW;
負(fù)載匹配:七檔,各檔位10KW。
主要參數(shù):
輸出功率:500W-10KW連續(xù)可調(diào);
輸出頻率:40KHZ;
輸出最 大電壓有效值:1100V;
負(fù)載阻抗范圍:9Ω-93Ω;
功率穩(wěn)定度:優(yōu)于1.0%;
輸入電壓:380V+10%,-15%,三相接地(無中線)。
物理規(guī)格與安裝:
外形尺寸:長635mmX寬482mmX高177mm;
重 量:40kg;
安裝方式:19英寸機架;
輸出接頭:雙輸出,從接線盒引出并帶有保護蓋;
輸出電纜:12-18平方毫米
交流輸入方式:4線DIN接頭
用戶口連接器:D型pin25,母接頭,RS485通信接口;
冷卻水接頭:3/8英寸的NPT母接頭。